関連資料一覧：（本学所蔵）
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| 資料名 | 所在 |
| 1 | CVDハンドブック / 化学工学会編集. -- 朝倉書店, 1991.6. | 図書館(書庫) 571:Ka |
| 2 | VLSIの薄膜技術 / 伊藤隆司, 石川元, 中村宏昭共著. -- 丸善, 1986.9. -- (電子材料シリーズ). | 図書館(書庫) 549.7:I |
| 3 | アモルファス薄膜 / 馬来国弼著. -- 共立出版, 1988.9. -- (表面・薄膜分子設計シリーズ / 日本表面科学会編 ; 4). | 図書館(書庫) 431.8:M |
| 4 | 光学薄膜 / 藤原史郎編 ; 石黒浩三, 池田英生, 横田英嗣著. -- 共立出版, 1985.2. -- (光学技術シリーズ / 小瀬輝次 [ほか] 編 ; 11). | 図書館(書庫) 425.9:Ko |
| 5 | 光学薄膜ユーザーズハンドブック / James D.Rancourt著 ; 小倉繁太郎訳. -- 日刊工業新聞社, 1991.10. | 図書館(書庫) 425.9:cR |
| 6 | 真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳. -- アグネ, 1977.5. | 図書館(閲覧室) 549:cS |
| 7 | スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著. -- 東京大学出版会, 1984.3. | 図書館(書庫) 549:Ki |
| 8 | スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著. -- 共立出版, 1988.6. | 図書館(閲覧室) 431.8:W |
| 9 | (図解)薄膜技術 / 日本表面科学会編. -- 培風館, 1999.7. | 図書館(閲覧室) 549.8:N |
| 10 | 入門真空・薄膜・スパッタリング / R.V.Stuart著 ; 毛利衛, 数坂昭夫共訳. -- 技報堂出版, 1985.10. | 図書館(閲覧室) 534.9:cS |
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