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書誌情報
  

NCIDAA10804928
タイトルJournal of vacuum science & technology. Second series. B, Microelectronics and nanometer structures, processing, measurement and phenomena
巻次(年月次)Vol. 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-
出版者New York : American Institute of Physics , 1991-
形態v. : ill. ; 29 cm
ISSN10711023
無効/取消ISNN0734211X
和洋区分洋
刊行頻度隔月刊
本文言語英語
標題言語英語
出版国アメリカ合衆国
番号CODEN : JVTBD9
継続前誌名Journal of vacuum science & technology. 2nd series B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society <AA10635106>
雑誌変遷マップID30085200
WebCatPlus    CiNii Books
雑誌所蔵
 所在所蔵巻号受入継続年次請求記号備考
1図書館(雑誌-洋)12-16,17(1-2) 1994-1999JOURNAL VACUUM SCIENCE TECHNOL 
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